热处理
可以采用半导体制造的高性能密封解决方案
Dupont™Kalrez®材料具有出色的热稳定性，并经过特殊配制和加工，以满足晶圆加工环境的独特要求。此外，Kalrez®零件有助于降低运营成本。
即使在高达325°C的温度下，Kalrez®也保持其弹性体特性。Kalrez®足以容易到达金属CVD（化学气相沉积），ALD（原子层沉积）和LPCVD（低压化学气相沉积）以及氧化和扩散过程。这意味着由于延长了预防性维护周期，因此使用Kalrez®密封件的设备运行成本更低。
Kalrez®非常适合：
•石英室密封件
•配件
•中心戒指
•全部密封件
