EKC®专业的去除剂和清洁化学物质

蚀刻后残留物去除剂

EKC®后蚀刻残留物

杜邦的蚀刻后残留物残余物是配制的水和半水性有机混合物,以在通过聚合物和金属蚀刻工艺之后有效地除去基材表面的残基。蚀刻后残留物中断是我们EKC技术组合的一部分。

这些产品旨在清除蚀刻过程中产生的残留物,同时保持与暴露的金属和电介质材料的兼容性。杜邦有铝工艺集成产品,最近又有铜工艺集成产品。

专门的去除剂和清洁化学物质

  • 蚀刻后残留物去除剂

    蚀刻后残留物去除剂

    配制的水性和半水性有机混合物,以在通过聚合物和金属蚀刻工艺之后有效地除去基材表面的残基。

    杜邦的蚀刻后残留物清除剂是水和半水有机混合物,可有效清除基材表面的残留物。

    杜邦的铜蚀刻后残留去除剂应用包括CuSolve™铜集成技术和SAC™半水化学去除剂。

  • Post-CMP清洁工

    Post-CMP清洁工

    用于cmp后清洗的水配方旨在保护平面化的金属和介质,防止金属腐蚀,同时提供光滑无缺陷的晶圆表面。

    查看详细信息
  • EKC®剥离和冲洗

    EKC®剥离和冲洗

    去除光刻过程中使用的光刻胶的剥离器

    查看详细信息

    Dupont提供专门配制的有机材料,以从基材表面去除正和负光致抗蚀剂。

    LED模具的生产可能需要各种潮湿的化学处理,杜邦将其科学提交,在制定LED行业的制定解决方案方面。

    杜邦的光阻去除和透硅(TSV)清洁配方经过优化,可有效去除用于TSV掩膜和晶圆凹凸的厚或薄的抗蚀剂。