先进的化学铜工艺用于半添加剂IC基板应用,具有离子催化剂,以及高投掷功率酒石酸铜基础化学铜,设计用于对低RA绝缘体的粘附性。
随着IC包装基板的发展,具有更精细的特征,半添加处理(SAP)变得更加重要,需要穿过面板的均匀厚度和可重复的蚀刻特性。高抛光化学铜系统使得用户能够在微米覆盖中具有可靠的覆盖,同时最小化表面铜沉积物,从而提高蚀刻能力。杜邦的Circuposit Adv 8500 Collectoless Copper铜工艺已经开发出满足这些需求。
杜邦的Circuposit ADV 8500 Ortheroligalest Copper Process的主要特点:
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IC包应用的下一代金属化技术
具有各种去污条件观察出优异的投掷功率。化学镀铜厚度〜0.3μm。
低RA绝缘子材料稳定粘附