Circuposit™6500化学铜工艺

随着HDI的设计,特别是那些结合了每一层互连(ELIC)技术以实现越来越多的功能的设计,在今天的移动设备、平板电脑和可穿戴设备中变得越来越普遍,对互连密度和可靠性的要求不断受到挑战。

为了应对这些挑战,杜邦公司创建了Circuposit™6500水平化学铜系统,该系统基于离子催化剂和酒石酸盐基化学铜,用于ELIC和IC基板应用。

该过程的主要特点:

  • 调节系统,加上催化剂和化学铜设计覆盖当今先进的电介质。
  • 水平处理,便于操作,统一的化学应用,减少操作人员接触化学品和蒸汽
  • 高度稳定的碱性离子催化剂,很少或没有污泥形成
  • 酒石酸盐基化学铜配方,提供卓越的投掷力,浴稳定性,易于处理。
  • 优异的铜对铜的附着力,以获得最佳的铜接头可靠性。
  • 是否可用于带有ELIC或IC基板应用的MSAP产品/工艺
  • 满足先进的可靠性要求:HCT,销拉,热应力,热冲击

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离子钯催化剂工艺应对水平化学镀铜挑战

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Circuposit™6530催化剂工艺用于化学铜金属化

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离子钯催化铜化学金属化工艺研究

从镀铜到目标衬垫的完美纹理转移,无分界线。满足可靠性要求。

全化学铜覆盖,盲孔抛铜能力强

厚度(nm)

正确的


359+45

369+11

中间

321+21

347+43

291+23

317+53

优异的介电覆盖率,适用于不同的应用

Circuposit™6500化学铜工艺流程水平应用