随着HDI的设计,特别是那些结合了每一层互连(ELIC)技术以实现越来越多的功能的设计,在今天的移动设备、平板电脑和可穿戴设备中变得越来越普遍,对互连密度和可靠性的要求不断受到挑战。
为了应对这些挑战,杜邦公司创建了Circuposit™6500水平化学铜系统,该系统基于离子催化剂和酒石酸盐基化学铜,用于ELIC和IC基板应用。
该过程的主要特点:
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Circuposit™6530催化剂工艺用于化学铜金属化
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离子钯催化铜化学金属化工艺研究
从镀铜到目标衬垫的完美纹理转移,无分界线。满足可靠性要求。
全化学铜覆盖,盲孔抛铜能力强
厚度(nm) |
左 |
正确的 |
---|---|---|
前 |
359+45 |
369+11 |
中间 |
321+21 |
347+43 |
底 |
291+23 |
317+53 |
优异的介电覆盖率,适用于不同的应用
Circuposit™6500化学铜工艺流程水平应用