光阻

ArF植入抗拒

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ArF植入抗拒

杜邦公司的正色调193nm (ArF)植体光刻胶通过沥青具有良好的轮廓和优异的衬底相容性。

特性

130 nm 1:2沟槽
130 nm ISO沟槽
130 nm 1:2线和空间
130 nm ISO线

好处

改善了亮到暗场的偏差
优异的工艺窗口性能
贯穿节距的良好剖面
优秀的衬底兼容性

130 nm 1:2 Trench

130 nm ISO沟槽

130 nm 1:2 L/S

130 nm ISO线

图1:150 nm, 120°C /30S HMDS，环形0.75NA, 0.5/0.25, SB/PEB=100°C/120°C

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