杜邦的正音193 nm浸没抗蚀剂具有出色的工艺窗口,临界尺寸(CD)均匀性和低缺陷。它们还可以降低工艺成本,因为不需要使用面漆。
特征
好处
65海里DOM(66海里/ 120 p) |
65nm dom(66nm / 180p) |
65海里DOM(70海里/ 500 p) |
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图1:120 nm on AR™26N/AR™4124 Fast Etch, 1.3NA, Ann 0.95/0.6,二进制掩模,SB/PEB=90°C/85°C