电子解决方案
光阻
DuPont的正色调ARF（193nm）干燥光致抗蚀剂已针对沟槽和线路和空间（L / S）应用通过间距进行了优化。
特征
好处
1a: 90 nm L/90 nm S
90nm ISO L
图1：170 nm在AR™26N / AR™上4124快速蚀刻，0.93NA，ANN。S：0.72 / 0.49，PSM掩模，SB / PEB = 125°C / 110°C，PS = 27.4MJ
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