AR™137有机底部防反射涂层

AR™137是一种用于浸没式光刻的有机底部抗反射涂层(oBARC)。它的设计目的是提供优良的光学参数，以减少通过超数值孔径(NA)浸没曝光角度的反射。AR™137的快速蚀刻速率通过减少蚀刻过程中的抗蚀损耗来改善图案转移。

特征

• 最佳n&k值的超NA暴露
• 腐蚀率高
• 与抗蚀剂相容性好
• 优秀的涂料性能
• 良好的EBR/RRC溶剂相容性
  

好处

• 提高关键尺寸均匀性（CDU）
• 提高光刻工艺的利润率
• 提高蚀刻工艺裕度