抗反射剂和功能性子层

AR™10L底部防反射涂层

概述

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AR™10L是248nm（KRF）光致抗蚀剂的有机，热交联底部抗反射涂层（BARC）。它旨在为高温和低温抗蚀剂平台提供通用的抗反射表面，并提供优异的与大多数亚太山杂交和缩醛抗蚀剂相容性。AR™10L是共形1分钟。，248nm抗反射剂，通常用于反射基板上的透明薄膜上的400-1200A的范围内。

特性

150 nm 1:1线/空间

图1：410 nm UV135在60 nm AR™10L快速蚀刻

150 nm隔离线

图2：398 NM SL4000 ON 60 NM AR™10L快速蚀刻

190nm 1:1线/空间

图3:520 nm uvn30 on 60 nm ar™10L快速蚀刻

170 nm 1:1线/空间

图4:AR™10L快速蚀刻反射率曲线

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