西门子工艺密封

用于多晶硅工艺设备的高性能密封件

所面临的挑战

为了满足太阳能电池日益增长的需求，西门子*工艺被用于通过热分解三氯硅烷(TCS)生产高度纯化的多晶硅。所采用的反应堆在以下位置需要三种高性能密封:A)钟罩密封;B)电极与陶瓷进口之间的电极密封;C)用于观察端口密封的垫圈(参见示意图)。

解决方案

这个过程需要一个非常炎热、干燥的环境，温度高达1200摄氏度^°C.密封部件见300^°工艺介质包括TCS及其分解的腐蚀性副产物，如HCl气体。为了有效的密封和延长密封寿命，需要优越的压缩设置性能。极低的排气是防止工艺环境污染的关键要求。

在高温条件下存在的恶劣化学物质通常需要从标准密封材料升级到PTFE或氟弹性体(FKM)，以提高热稳定性和耐化学性。然而，聚四氟乙烯可以变形和蠕变“热流”在钟形罩密封增加产品损失的风险。FKM，耐高温等级200^°C，在这300中也有不足^°C的环境。

关键优势

Kalrez^®安装在西门子CVD工艺反应器中的垫圈和垫片的PV8070全氟弹性体部件在这一苛刻的应用中表现出了出色的性能。Kalrez^®PV8070部件是有效的密封，提供:

• 耐高达325℃的连续工作温度^°C和应对短期高温旅行的能力。
• 优越的压缩固定性能，长期保持有效的密封。
• 抗腐蚀性介质，如西门子CVD工艺中使用的介质。
• 最大限度地减少排气，从而最大限度地减少工艺污染的可能性。

*一种非专利多晶硅生产工艺，已存在近50年