Kalrez®粘结门密封

与传统的o形环相比，用于闸阀和缝隙阀门密封的粘合式门密封通过减少颗粒的产生，延长密封寿命，减少预防性维护期间的更换时间，提高了密封性能。

杜邦公司^™Kalrez^®粘合式门密封设计便于安装和低颗粒产生。他们结合了定制的密封设计和专有的粘附技术以及Kalrez的优秀的等离子电阻^®为半导体应用开发的全氟弹性体密封材料。与传统的o形密封圈相比，密封处于“固定”位置，从而消除了门驱动过程中的“滚动/扭转”和磨损。此外，采用有限元分析(FEA)对密封设计进行了优化，以最小化集中的局部应力。因此，与传统的o形环相比，颗粒生成和密封性能都得到了显著改善。

典型的应用

粘合式门密封取代了目前在闸阀上使用的o形密封圈，以及在粒子敏感半导体蚀刻、灰、条和/或沉积过程中使用的狭缝阀的鸠尾沟槽。

与传统的o形环相比，更低的颗粒生成和更长的密封寿命

• 密封元件保持在“固定”位置，即避免在使用中“滚动/扭转”
• 设计消除了o形环在驱动/压缩期间对燕尾槽边缘的磨损
• Kalrez^®用于最小化反应等离子体中粒子产生的半导体产品等级
• Kalrez^®超纯^™后清洗和包装减少不必要的污染
• 改进的密封性能-优化的设计最大限度地减少集中的局部应力
  

与o形密封圈相比，预防性维护期间更换时间更短

• 快速和容易的组装/拆卸安装硬件
• 减少o形圈密封通常遇到的安装问题
• 在预防性维护期间，不需要清洗密封压盖
• 包装上的条形码加上粘合门封件编号和卡列兹号^®产品编号刻在背面的商业可用的保税门密封，可追溯和识别，提供了它是一个Kalrez^®perfluoroelastomer部分(FFKM)。
  

可用性

杜邦公司^™Kalrez^®粘合门密封可用于用于半导体OEM设备平台的多种阀门类型。另外，一个定制的卡雷兹^®粘合式门密封可以应用于大多数闸阀和狭缝阀门，如果目前还没有的话。Kalrez^®超纯^™所有粘合门密封的标准要求是后清洗和包装。