电镀镶嵌铜中的多年经验和成功使杜邦电子和成像通过硅通孔(TSV)化学物流带到先进的包装市场。我们的生产证明,三分铜解决方案使得甚至最具挑战性的TSV宽高比,导致:
由于TSV成为存储器堆叠中使用的主流互连技术,CMOS图像传感器,MEMS设备和2.5D插入器架构,Dupont仍然处于最前沿,优化产品,以满足TSV的不断发展需求。
产品线
通过硅通道(tsv)是垂直的电气互连,通过晶片蚀刻工艺形成,并填充铜或钨。tsv首先被引入到化合物半导体应用中,还被用于MEMS设备和CMOS图像传感器,以创建3D存储堆栈和2.5D插入器架构,这是由高性能计算需求驱动的。
我们用于TSV生产的Cu化学物质旨在满足前缘TSV的要求,其纵横比为10:1。这就要求高纯度,无空隙的快速电镀,无缝隙的自底向上填充,最小的铜覆盖层,以减少对化学机械平化工艺的需要。
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