通过化学方法通过硅验证的生产符合高纵横比要求

电镀镶嵌铜中的多年经验和成功使杜邦电子和成像通过硅通孔(TSV)化学物流带到先进的包装市场。我们的生产证明,三分铜解决方案使得甚至最具挑战性的TSV宽高比,导致:

  • 高纯铜
  • 自底向上填充时无间隙性能
  • 快速镀速度
  • 铜覆盖层的消除

由于TSV成为存储器堆叠中使用的主流互连技术,CMOS图像传感器,MEMS设备和2.5D插入器架构,Dupont仍然处于最前沿,优化产品,以满足TSV的不断发展需求。

产品线

  • 连环™9200铜
  • 通过硅通道(tsv)是垂直的电气互连,通过晶片蚀刻工艺形成,并填充铜或钨。tsv首先被引入到化合物半导体应用中,还被用于MEMS设备和CMOS图像传感器,以创建3D存储堆栈和2.5D插入器架构,这是由高性能计算需求驱动的。

  • 我们用于TSV生产的Cu化学物质旨在满足前缘TSV的要求,其纵横比为10:1。这就要求高纯度,无空隙的快速电镀,无缝隙的自底向上填充,最小的铜覆盖层,以减少对化学机械平化工艺的需要。

  • 杜邦为半导体行业提供完整的包装和装配材料组合。点击这里观看我们全面产品的短视频。

半导体包装材料

  • 通过铜通过铜

    通过铜通过铜

    多年电镀大马士革铜的经验和成功帮助杜邦将领先的铜TSV化学带到先进的包装市场。

  • 镀铜柱

    镀铜柱

    我们经过生产验证的铜柱配方与我们的凹凸金属化(UBM)和锡银覆盖化学剂完美配合,为您的所有铜柱需求提供无缝解决方案。

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  • 焊料碰盖

    焊料碰盖

    杜邦屡获殊荣的Solderon™BP电镀化学品是锡铅合金的可靠替代品,适用于所有晶圆碰撞应用。

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    铟电镀化学设计用于低温焊接工艺,用于高级晶片级包装,用于对温度敏感的新兴应用。

    HVM-经过验证的锡镀锡化学,用于无铅,精细焊接凸块应用,具有行业领先的过程多功能性。
  • 撞下金属化

    撞下金属化

    我们提供生产的经过生产验证的电镀镍化学,以满足各种UBM流程需求

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  • 撞镀光阻

    撞镀光阻

    杜邦公司提供正色调和负色调光刻胶,以满足当今半导体先进封装应用中紧凑的间距和多变的地形。

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    圆片级封装干膜光刻胶解决方案,适用于3DIC、扇出、碰撞、铜柱和再分布应用。

    杜邦公司提供液体凹凸电镀光刻胶,以及相关的辅助材料,非常适合使用单旋涂层的晶圆级封装应用。
  • 铜层重新分配

    铜层重新分配

    用于再分配层的杜邦电子和成像铜化学物质(RDL)非常适合今天对晶圆级包装应用的高密度要求。

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  • 包装电介质

    包装电介质

    杜邦的包装介质配方具有机械性能、高分辨率、低温固化、易于处理和卓越的可靠性,可以保护您的先进WLP。

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