高级涂层

支持今天的关键尺寸在光刻

杜邦最先进的大衣产品减少了在晶圆制版之前或之后的缺陷。我们独特的配方为您提供了新的解决方案，以应对当今的模式挑战，使您能够达到关键尺寸，不能通过传统的光刻工艺单独实现。在不使用极紫外光(EUV)光刻的情况下缩放到先进节点是可能的。

杜邦先进的平版大衣生产线包括:

• 面漆:专为正色调光刻胶设计，我们的正色调显影面漆增加了光刻胶表面的疏水性，减少了缺陷。

• NTO™Ofrocoats：用于屈服增强，我们的阴性调，旋涂制剂在具有不同表面性质的多种抗蚀剂上产生均匀的表面。这些材料允许进行多种扫描仪调整，就像它是单一抗蚀剂一样。NTO Offoats具有高疏水性并实现高接触角。

• 首席技术官™大衣:这些旋转替换等离子体蚀刻工艺的替代品是通过减少在抗蚀剂顶部形成的桥接缺陷来修剪临界尺寸的低成本方法。CTO Offoats在Darkfield功能中减少浮渣，可用于清洁难以从孤立的沟槽中抵抗。

• 产品的家庭:
  • 全家人™5000的大衣
  • 首席技术官™1150的大衣
  • CTO™125大衣