电子级聚合物适用于当今挑战性的光刻应用

DUV和193NM光致抗蚀剂性能从聚合物开始,杜邦电子级聚合物继续改善现有的聚合物制造,分离和评价技术。

我们的合成和隔离专业知识使电子聚合物能够创造出广泛的聚合物,这是当今挑战性的光刻应用,从乙酰氧基苯乙烯单体(ASM)到高分子均匀性(HCU)聚合物。

asm.

乙酰氧基苯乙烯单体(ASM)是用于产生杜邦电子级聚合物的基本单体。与其他反应性单体组合使用或用作均聚物产生的唯一组分,ASM是一种高纯度反应性单体,其容易经历自由基聚合,并能够在宽的宽度下产生聚(对乙酰氧基)苯乙烯(PAS)聚合物的产生分子量范围。我们非常关心和努力,以保持这一关键材料的最高质量。

通过定制制造的共聚物和聚合物

杜邦在自由基聚合化学方面开发了深厚的专业知识。定制产生的树脂,与ASM组合,解决了透明度,多分散性,酸扩散特性,溶出速率,TG等越来越多的需求,对半导体器件的临界层的临界层性能至关重要的其他因素生产。

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